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电子工业专用设备

	ISSN: 1004-4507 CN: 62-1077/TN Tel: 010-64655251;64674511; Email: faithbj@chinaepp.com.cn 期刊网址: http://www.chinaepe.com.cn
	本刊为国内外公开发行的技术性刊物，以报道半导体设备及半导体产业链技术与材料为主要方向，以“公布新的科技成就，传播科技信息，交流学术思想，促进科技成果的商品化、产业化，为建设社会主义精神文明与物质文明服务”为本刊的为刊方针。发挥传媒优势，全方位服务于微电子行业的广大科技工作者。
	在线投稿地址: http://dgzs.cbpt.cnki.net/EditorEN/index.aspx?t=1

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